干式螺桿真空泵，是利用一對螺桿，在泵殼中作同步高速反向旋轉而產生的吸氣和排氣作用的抽氣設備，兩螺桿經精細動平衡校正，由軸承支撐，安裝在泵殼中，螺桿與螺桿之間都有一定的間隙，因此泵工作時，相互之間無磨擦，運轉平穩(wěn)，噪音低，工作腔無需潤滑油。

干式螺桿真空泵的性能特點：

1、工作腔內無任何介質，可獲得潔凈真空

2、單臺泵可從大氣抽至1Pa，真空系統(tǒng)可大大簡化。

3、水溫對真空影響小，節(jié)水達90%以上，甚至可以不耗水。

4、結構簡單，維護方便。

5、被抽氣體直接排出泵體，不污染水，無環(huán)保壓力，氣體回收更便捷。

6、不耗油，無滴漏

7、旋轉部件間無摩擦，可高速運轉，整機體積小

8、工作腔及螺桿轉子表面有防腐涂層 ，可適應惡劣工況

9、氣體在泵內無壓縮，適宜抽取可凝性氣體

10、可與羅茨泵、分子泵組成無油機組

干式螺桿真空泵工作原理：

與螺桿式壓縮機類似，螺桿式干式真空泵的工作過程可分為吸氣、壓縮和排氣三個過程。隨著轉子的旋轉，每對相互嚙合的齒相繼完成相同的工作循環(huán)，現(xiàn)在以其中一對齒來說明。

吸氣過程陽轉子按逆時針方向旋轉，陰螺桿按順時針方向旋轉。上方的轉子端面是吸氣斷面，下方的端面為排氣端面。

壓縮過程轉于端面是排氣端面。在這里，陽轉子沿順時針方向旋轉，陰轉于沿逆時針方向旋轉。上方的轉子端面是吸氣斷面，下方的端面為排氣端面。

排氣過程螺桿泵的排氣過程，齒間容積與排氣孔口連通后，即開始排氣過程。隨著齒間容積的不斷縮小，具有排氣壓力的氣體逐漸通過排氣孔口被排出。